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나노종기원-코셈, 통합형 주사전자현미경 상용화

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작성자 kasia 작성일19-04-08 16:23 조회7회 댓글0건

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나노종기원-코셈, 통합형 주사전자현미경 상용화

공기·열 영향 덜 받고 시편 관찰 가능···시장 경쟁력 확보
한효정 기자 hhj@HelloDD.com

연구원과 중소기업이 만든 주사전자현미경이 시장에 진출했다.

나노종합기술원(원장 이재영)은 중소기업 코셈(대표 이준희)과 협력해 '대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경(이하 통합 주사전자현미경)'을 개발, 상용화했다고 4일 밝혔다.

통합 주사전자현미경은 시편 제작과 관찰을 동시에 할 수 있는 일체화 구조로 제작돼, 시편이 대기 중에서 산화·오염되는 것을 막는다. 

또한 본체에 냉각모듈(펠티어 소자)이 장착돼 시편 가공 중 열에 의한 변형을 최소화한다. 관찰 신뢰성이 높은 통합 주사전자현미경은 이차전지와 유기발광다이오드 연구·분석에 쓰일 수 있다.

사업화를 주도한 양준모 나노종합기술원 본부장은 "시료의 변형으로 분석이 어려워지는 문제를 해소하고자 했다"며 "중소기업의 경쟁력을 높이는 데 기여해 보람있다"고 말했다.

이준희 대표는 "이번 개발로 새로운 제품을 확보했다"며 "전량 수입하고 있던 단면시편가공기도 국산화해 매출이 오를 것으로 기대된다"고 밝혔다.

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대기 비개방 시편제작 통합형 주사전자현미경(CP-SEM)은 시편을 가공하는 단면시편제작부(CP)와 시편 관찰부(SEM)이 통합됐기 때문에 시편을 대기에 노출시키지 않은 채로 즉시 관찰할 수 있다. 
<사진=나노종합기술원 제공>

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